2021/11/15 17:10:19
坩埚的除渣
1. 坩埚中残留的添加剂会穿透坩埚壁对坩埚进行腐蚀,从而缩短坩埚寿命。
2. 必须每天坚持用一个带平底的钢铲,小心地把坩埚内壁的残渣刮掉。
坩埚的清空
1. 热坩埚吊出炉后应放在耐高温板上,或者悬在转运工具上。不可直接放在砂子上,否则砂子会和坩埚的釉层一起反应,生成炉渣。
2. 坩埚停炉后,要把坩埚内金属液体倾倒干净,并进行除渣清洁。切莫让金属液体凝固在坩埚中,否则在下次加热使用时,金属膨胀会把坩埚撑破。
3. 如因某种原因生产中断,金属液体应倒入模具(zui好是小锭料模具)中形成锭料,方便下次使用。
石墨坩埚的养护方法:
对于寿命已经到了期限的,需要进行更换,对于没有到寿命期限的且暂时不用的,需要进行密封在塑料袋中,放入纸箱打包,并注明炉号、更换原因、日期等,妥善保管。对于那些部分发生损坏但是没有到更换期限的石墨坩埚可以更换也可以凑合用,进行密封保存的石墨坩埚再次使用时,建议大家使用在提纯的炉子上。坩埚在熔炼不同金属或合金时熔化量计算,可以坩埚的容重规格号,乘上相应金属和合金系数。在每次拆炉时,要清理氧化物,并把石墨件上的渗硅清理干净,一些保温盖等部件要擦拭干净,避免一些杂物污染原料,除了在使用中注意人身安全外,还需要注意这种物品要轻拿轻放,确保石墨坩埚的安全。
坩埚的使用注意事项:
1、坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。对于在侧面排废气的炉子,坩埚和炉壁之间可以用保温棉密封,然后用耐高温水泥固定。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
2、石英质脆,易破,使用时要注意。
3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。公司质量方针※坚持科技创新和管理创新,持续改进产品和服务的质量,满足顾客和法律法规的要求。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。
4、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。