2021/10/22 17:24:57
坩埚炉,气氛炉在操作过程中难免不会出现问题,然而合理正确的使用坩埚炉和气氛炉可以减少故障的发生率,使电炉处于更好性能,延长电炉的使用寿命。
1、在坩埚炉和气氛炉使用前,应编制使用维护操作规程,并且严格按照规则操作,有专门人员不定期检查落实情况。
2、坩埚炉,气氛炉头一次使用后,检查炉表温度和炉子温度是否过高、加热体是否存在过热烧断、温度不均或发白等现象。对于三相高温电炉,以及电阻炉容量超过100kW时,每相、每一个加热区都应安装有电流表,发现炉温与仪表指示不正常,及时分析处理。
3、不能超负荷使用没备,在额定功率左右使用电炉。
4、在使用坩埚炉和气氛炉前,先检查加热材料是否适合加热,对于不适合的不要加热,比如容易产生液体,腐蚀性气体的材料不要加热。
新电炉坩埚除细心操作外,还必须细心观察漏钢前兆。安装坩埚时,坩埚的底部支撑必须使用足够大的且圆柱形底座,底座的直径至少要与坩埚的底部相同,略大2-3cm,且底座高度略高于出火口,从而防止火焰直接烧到坩埚底部。经常观察坩埚壁是否有异色;供电电压是否向下波动,电流是否向上波动等。出现异常情况应立即停电检查,以免发生漏钢事故。同时,还应观察感应器匝间的绝缘情况是否良好。 出钢后应检查坩埚内表面是否有亮点区或裂纹,特别是环状横向裂纹,纵裂纹通常危害性小。及时清理修补缺陷和渣线。
坩埚的使用注意事项:
1、坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。3、在使用前要在干燥设备或者炉旁烘烤,温度要逐渐上升到500度。用电弧法制的半透明坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
2、石英质脆,易破,使用时要注意。
3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。坩埚的储存:这种石墨坩埚需要放置在干燥通风的地方进行储存,一般厂家都会建议大家把其放置在木质的托架上面,这样能够避免受潮,导致釉层损坏降低效率和寿命。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。
4、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。