2021/10/22 17:24:57
坩埚的使用注意事项:
1、坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。我们知道的是石墨坩埚的适用范围是十分广阔的,不同的使用场合需要不同的石墨坩埚规格,这一点相信不用解释大家也都是可以了解的,所以笔者在这里说这些也是希望大家根据实际的使用环境来选择产品。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
2、石英质脆,易破,使用时要注意。
3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。由于坩埚是热重分析中的常用仪器,对质量要求非常精准,取用坩埚一般要用坩埚钳。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。
4、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。
坩埚可以分为石墨坩埚,粘土坩埚,和金属坩埚三大类。由于性能,用途和使用条件不同,所用的原料,生产方法,工艺技术和型号规格也有所不同。坩埚的安装一、安装坩埚前,必须先检查炉膛内部:炉壁和炉底应该是完好无损,没有金属或炉渣附着。坩埚的的生产原料,可以概括为三大类型。一是结晶质的天然石墨,二是可塑性的耐火粘土,三是经过煅烧的硬质高岭土类骨架熟料。
石墨坩埚的主要原料是结晶形天然石墨。石墨坩埚分为普通石墨坩埚,异性石墨坩埚和高纯石墨坩埚三类。具有良好的热导性和耐高温性热膨胀系数小,防腐蚀性较强,具有优良的化学稳定性。石墨坩埚的优良性能是其是、成为坩埚的更佳选择。