沧州碳化硅石墨坩埚生产厂家的用途和特点【润福鑫坩埚】
2021/10/22 17:25:02
坩埚用原料要求纯度高、一致性好，粒度分布均匀。而石英的坩埚可以在1000度以上的高温使用，蒸发皿通常为普通玻璃制，也有用陶瓷的，使用温度应多在400度以下，太高了会破1裂的。由害成分高时会影响坩埚的熔制，影响其耐温性，还会出现气泡、、脱皮等现象，严重影响石英坩埚质量。有害元素含量高还会产生一些气泡、白斑等缺陷，造成石英坩埚透明度下降，严重时还影响坩埚成形。坩埚尺寸大小(或容积大小)的确定取决于晶体生长的直径和长度，同时还要考虑拉晶工艺中对埚、晶直径比的要求。
坩埚的主体原料，是结晶形天然石墨。故它保持着天然石墨原有的各种理化特性。坩埚具有良好的热导性和耐高温性，在高温使用过程中，热膨胀系数小，对急热、急冷具有一定抗应变性能。对酸，碱性溶液的抗腐蚀性较强，具有优良的化学稳定性。
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现代拉单晶的坩埚一般是采用电弧法生产，半透明状，是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。不得在铂坩埚内加热或熔融碱金属的氧化物、氢氧化物、氧化钡、硫1代硫酸钠，含磷以及含大量硫的物质。现代的石英坩埚则存在二种结构，外侧是一层具有高气泡密度的区域，称为气泡复合层，内侧则是一层3~5mm的透明层，称之为气泡空乏层。气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。气泡空乏层的目的在于降低与溶液接触区域的气泡密度，而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。
坩埚的原材料是二氧化硅。如仍有污点,或表面发乌,则用通过100筛目的无尖锐棱角的细砂,用水润湿进行轻轻磨擦,使表面恢复。 就其纯度而言，大体分为两种，一种是以天然水晶为原料的石英砂，它的杂质总含量(指Al、Fe等13种杂质元素的总和)一般均在50ppm以下，另一种是用高纯合成原料经高温水解溶制而成的产品，它的纯度很高，13种杂质元素的总含量一般均不超过2ppm，但是它的价格昂贵，软化点低，不少坩埚厂家用这种高纯合成原料在坩埚内层烧结一层 lmm左右的透明层，从而既保证了坩埚内表面的纯度，又不致于使坩埚软化点过低。
