2021/10/22 17:25:02
石墨坩埚问题体现在:
新的石墨坩埚煅烧不够彻底即投入使用会造成石英坩埚外层严重析晶。
石墨坩埚因使用时间过长,其原有的厚度氧化降解而大为减薄。
石英坩埚问题体现在:
石英坩埚在放入时用力过量,底部受到损伤而产生隐裂。
在装底部料时大块的硅料撞击到石英坩埚底部产生隐裂。
坩埚上部装入太多的大料,熔料过程中发生塌料时易将坩埚底部撞破导致漏硅。
石英坩埚因受到外力损伤已产生隐裂,熔料过程中发生。
在石英坩埚的生产、包装、运输中受到损伤而产生隐裂。
坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。用这种材料制作出来的坩埚耐火度大大的提高,单位体积的密度也增大,具有传热快,耐酸碱以及抗1氧化性等特点。石英质脆,易破,使用时要注意。
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在石墨坩埚中,又有普型石墨坩埚、异型石墨坩埚、高纯石墨坩埚三种。各种类型的石墨坩埚,由于性能、用途和使用条件不同,所用的原料、生产方法、工艺技术和产品型号规格也都有所区别,坩埚规格(大小),通常是用顺序号大小表示的,1号坩埚具有能熔化1000g 黄铜的容积,其重量为180g。坩埚在熔炼不同金属或合金时熔化量计算,可以坩埚的容重规格号,乘上相应金属和合金系数。使用试金黏土坩埚定制需要注意:一、选择合适的石墨底座,底座直径不小于粘土坩埚下底外径。
坩埚的生产原料,可概括为三大类型。一是结晶质的天然石墨,二是可塑性的耐火黏土,三是经过煅烧的硬质高岭土类骨架熟料。从2008年开始,开始采用耐高温的合成材料,可直接受热,加热后不能骤冷,用坩埚钳取下,坩埚受热时放在泥三角上,蒸发时要搅拌;用二氧化锆作耐火材料,加进5%的氧化钙作稳定剂,它的耐热温度比氧化铝高500度,绝热能力比添加以前提高三倍。将近蒸干时用余热蒸干,坩埚可分为石墨坩埚、粘土坩埚和金属坩埚三大类