2021/10/22 17:25:02
对料面及出口温度的测量,必须采用非接触式,可采用红外温度传感器。温度测量的方法很多,如热电偶,光纤、半导体温度传感器等。红外测温是比较先进的测量方法,其特点如下:红外测温可远距离和非接触测温,它特别适合于高速运动物体,带电体,高压,高温物体的温度测量。坩埚使用时通常不会把熔化的东西放的太满,以防止受热物跳出,并让空气能自由进出以进行可能的氧化反应。红外测温反应速度快,它不需要与物体达到热平衡的过程,只要接收到目标的红外辐射即可测量目标的温度。测量时间一般为毫秒级至微妙级。
坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。坩埚使用时通常会将坩埚盖斜放在坩埚上,以防止受热物跳出,并让空气能自由进出以进行可能的氧化反应,生产的坩埚有以下特点:热稳定性:针对石墨坩埚急热急冷的使用条件,进行特别设计以保证产品质量的可靠性。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。石英质脆,易破,使用时要注意。
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现代拉单晶的坩埚一般是采用电弧法生产,半透明状,是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。现代的石英坩埚则存在二种结构,外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡复合层,内侧则是一层3~5mm的透明层,称之为气泡空乏层。气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。可塑坯料总混合时间约为30~40min,半干坯料约为40~60min。气泡空乏层的目的在于降低与溶液接触区域的气泡密度,而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。
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