保定石墨坩埚厂家价格行情 润福鑫坩埚口碑推荐

2021/10/22 17:25:37







石墨坩埚问题体现在:

新的石墨坩埚煅烧不够彻底即投入使用会造成石英坩埚外层严重析晶。

石墨坩埚因使用时间过长,其原有的厚度氧化降解而大为减薄。

石英坩埚问题体现在:

石英坩埚在放入时用力过量,底部受到损伤而产生隐裂。

在装底部料时大块的硅料撞击到石英坩埚底部产生隐裂。

坩埚上部装入太多的大料,熔料过程中发生塌料时易将坩埚底部撞破导致漏硅。

石英坩埚因受到外力损伤已产生隐裂,熔料过程中发生。

在石英坩埚的生产、包装、运输中受到损伤而产生隐裂。




现代拉单晶的坩埚一般是采用电弧法生产,半透明状,是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。现代的石英坩埚则存在二种结构,外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡复合层,内侧则是一层3~5mm的透明层,称之为气泡空乏层。在脱熔块时,不能用玻璃棒等尖锐物体从铂器皿中刮取,以免损伤内壁。气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。气泡空乏层的目的在于降低与溶液接触区域的气泡密度,而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。




在坩埚炉窑内气体运动的各种阻力中,起决定作用的是码坯时的坯垛阻力。码坯的操作质量,对坯垛阻力也有一定的影响。坩埚在使用时常常需要将其加热到很高的温度,这样在使用结束冷去之后清洗时就需要广大用户进行专业的清洗,不仅要清洗干净,同时还要保证该设备不会受到破损。码坯时要求头对头、缝对缝、火道对直、火路畅通。这样,就能减小阻力,反之,阻力就要加大。冷空气侵入窑内后,不但降低了烟气温度,而且使窑冷却带的进气量减少,这必然减少烧成带参与燃烧的空气供应量,减慢了燃料燃烧速度和坯体烧成速度。箱式炉二是合理使用风闸风闸适当的多提高用,闸口的通风面积就会加大,对气流的阻力就小,排烟设备的抽力作用就能充分地发挥出来。




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