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2021/10/22 17:25:37







坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。因为SiO2会和烧1碱以及其他碱性的物质(如K2CO3,Na2CO3等)反应,生成呈胶状粘稠态的H2SiO3,所以熔融的碱会很快将瓷坩埚腐蚀。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。石英质脆,易破,使用时要注意。

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碳化硅石墨坩埚价格前炉不宜安排冶炼高碳,高锰,高硅以及高合金钢种。防止因钢液渗入裂纹而发生漏钢事故。初期可安排冶炼低碳含铬钢。新电炉坩埚材料,装料应比较讲究,杜绝熔化期出现“架桥”。要细心操作防止对坩埚壁产生大的冲击。装料量达到上限值,延长冶炼时间。从2008年开始,开始采用耐高温的合成材料,可直接受热,加热后不能骤冷,用坩埚钳取下,坩埚受热时放在泥三角上,蒸发时要搅拌。碳化硅石墨坩埚价格要细心操作外,还必须细心观察漏钢前兆。经常观察坩埚壁是否有异色;供电电压是否向下波动,电流是否向上波动等。

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碳化硅石墨坩埚价格的遵循规则:

1.对铂的领取、使用、消耗和回收都要制定严格的制度。

2.铂质地软,即使含有少量铑铱的合金也较软,所以拿取铂器皿时勿太用力,以免其变形。在脱熔块时,不能用玻璃棒等尖锐物体从铂器皿中刮取,以免损伤内壁;也不能将热的铂器皿骤然放入冷水中,以免发生裂纹。石墨坩埚问题体现在:新的石墨坩埚煅烧不够彻底即投入使用会造成石英坩埚外层严重析晶。已变形的铂坩埚或器皿可用其形状相吻合的水模进行校正(但已变脆的碳化铂部分要均匀用力矫正)。




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