2021/10/22 17:25:41
坩埚用原料要求纯度高、一致性好,粒度分布均匀。由害成分高时会影响坩埚的熔制,影响其耐温性,还会出现气泡、、脱皮等现象,严重影响石英坩埚质量。在脱熔块时,不能用玻璃棒等尖锐物体从铂器皿中刮取,以免损伤内壁。有害元素含量高还会产生一些气泡、白斑等缺陷,造成石英坩埚透明度下降,严重时还影响坩埚成形。坩埚尺寸大小(或容积大小)的确定取决于晶体生长的直径和长度,同时还要考虑拉晶工艺中对埚、晶直径比的要求。
现代拉单晶的坩埚一般是采用电弧法生产,半透明状,是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。现代的石英坩埚则存在二种结构,外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡复合层,内侧则是一层3~5mm的透明层,称之为气泡空乏层。一般来说,清洗铂金坩埚往往会采用稀盐酸或者稀硝1酸,并且将其在铂金坩埚内煮沸,进而进行清洗。气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。气泡空乏层的目的在于降低与溶液接触区域的气泡密度,而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。
耐火粘土坩埚使用注意事项:
注意一:粘土坩埚使用时通常会将粘土坩埚盖斜放在粘土坩埚上,以防止受热物跳出,并让空气能自由进出以进行可能的氧化反应。
注意二:粘土坩埚因其底部很小,一般需要架在泥三角上才能以火直接加热。
注意三:粘土坩埚在泥三角上用正放或斜放皆可,视实验的需求可以自行安置。
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