2021/11/15 17:10:17
目前,国内石英坩埚生产企业生产中使用的生产设备及工艺技术全部源于上世纪70年代初锦州155厂从日本引进的生产设备及工艺技术,该项技术设备自动化程度不高,整个生产过程中更多的依靠人工来实现,现在国内新上的坩埚生产设备都已经往自动化发展。坩埚喷涂是利用不同于其它喷涂技术和方法,坩埚喷涂是涂装坩埚通过加热使其液态混合物(氮化硅)迅速附着在坩埚表面。坩埚的发展还是很快的。
石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。否则火焰的前进会受到阻碍而使火焰方向发生偏转,从而造成坩埚局部受热过度,在坩埚壁上发生氧化或产生小洞。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
石墨坩埚,因具有以上优良的性能,所以在冶金、铸造、机械、化工等工业部门,被广泛用于合金工具钢的冶炼和有色金属及其合金的熔炼。并有着较好的技术经济效果。
国产石墨坩埚的生产技术水平已经达到甚至超过进口坩埚,优质的国产坩埚具有以下特点:
1、石墨坩埚高的密度使得坩埚具备了最1好的导热性能,其导热效果明显优于其他进口坩埚;
2、石墨坩埚外表有特1制的釉层和致密的成型材料,大大提高了产品的耐腐蚀性能,延长其使用寿命;
3、石墨坩埚中的石墨成分全部采用天然石墨,导热性非常好。石墨坩埚加热后不可立刻将其置于冷的金属桌面上,以避免它因急剧冷却而破裂。
坩埚使用时需要先进行安装,坩埚底座(坩台)需与坩埚底径相同或较大,坩台高度需高于喷火口,以免火喷到坩埚。高热传导性:高含量的固定碳保证了良好的热传导性,缩短溶解时间,并显着地降低了耗油量或其他能耗。 在使用中需要预热烘干处理,使用前4-5小时将坩埚搬放于油炉边预热,对坩埚除湿表面有帮助。新坩埚使用前先在坩埚内放置木炭或木材燃烧四小时左右,对坩埚之除湿有帮助。坩埚第1炉使用时,先加边角料(小料)后再加块料,且需用钳子挟紧轻轻放入坩埚内,不能一次加太满以免挤破坩埚。