坩埚的安装
一、 安装坩埚前,必须先检查炉膛内部:炉壁和炉底应该是完好无损,没有金属或炉渣附着。如果炉壁或炉底附着水泥或炉渣,必须要进行清理。否则火焰的前进会受到阻碍而使火焰方向发生偏转,从而造成坩埚局部受热过度,邯郸子母坩埚,在坩埚壁上发生氧化或产生小洞。
二、 坩埚的底部支撑:
1.安装坩埚时,坩埚的底部支撑必须使用足够大的且圆柱形底座,底座的直径至少要与坩埚的底部相同,略大2-3cm,且底座高度略高于出火口,从而防止火焰直接烧到坩埚底部。造成底部材料迅速被侵蚀,子母坩埚生产厂家,坩埚变成锥形,或由于坩埚底部受力不均而使坩埚开裂。
2.为防止坩埚与底座粘连,可以在坩埚与底座间放一层隔离物(如:细耐火砂或纸板。)
石墨坩埚扛氧化能力的提升办法有哪些?
对以金属硅粉为主要渗料,在密闭的匣钵内采用包埋法的工艺,保1健品电视专题片,能够制得构造公道拥有功效 梯度特点的合乎涂层,即sic过渡层-sic致密层-si-sio2多相涂层。以sic为主成份的外层,跟着高温保温时光的延伸,涂层厚度增添 ,sio2含量增多。
该涂层与基体的结合主要以化学结合为主,兼有机械结合,联合强度高。对涂层后的石墨坩埚进行扛氧化测试,测 试成果表白:包埋法制备的扛氧化涂层,在1100℃-1300℃存在较凸起的扛氧化机能,泰兴减速机。浸涂构成的单涂层重要以sic跟si3n4为主。
坩埚的使用注意事项:
1、坩埚可在1450度以下使用,子母坩埚经销商,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
2、石英质脆,易破,子母坩埚选哪家,使用时要注意。
3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。
4、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。
姓名: | 张贞光 ( 销售经理 ) |
手机: | 13969291828 |
业务 QQ: | 316648040 |
公司地址: | 夏津县南城镇翟庄村 |
电话: | 0534-3501886 |
传真: | 0534-3501886 |