鳞片状石墨具有滑动型,黏土坩埚很难与别的颗粒混合。需仔细地进行干混合后再加水进行湿混合。按成型方法不同,加水量不同,黏土坩埚商家,可塑泥料的水分为17%~18%;半干坯体为9%~10%。可塑坯料要用真空挤泥机进行处理,这样可减少制品的断面裂纹和使坯料更加致密。可塑坯料总混合时间约为30~40min,半干坯料约为40~60min。黏土坩埚商家混好的坯料在困料室中困置15~20天,坯料困置后,经挤泥机挤成你段,在送往成型。半干成型坯料还需经二次混合后方可使用。
坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。石英质脆,易破,使用时要注意。
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坩埚的原材料是二氧化硅。 就其纯度而言,大体分为两种,一种是以天然水晶为原料的石英砂,它的杂质总含量(指Al、Fe等13种杂质元素的总和)一般均在50ppm以下,另一种是用高纯合成原料经高温水解溶制而成的产品,黏土坩埚,它的纯度很高,13种杂质元素的总含量一般均不超过2ppm,但是它的价格昂贵,软化点低,不少坩埚厂家用这种高纯合成原料在坩埚内层烧结一层 lmm左右的透明层,从而既保证了坩埚内表面的纯度,又不致于使坩埚软化点过低。
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