粘土坩埚使用时需要注意以下四点:
一:粘土坩埚用后放置干燥处,切忌雨水侵入;使用前须缓慢烘烤到500摄氏度方可使用。
二:取出镕融物时,粘土坩埚,要用勺子舀出,尽量少用卡钳,若用卡钳等工具应与粘土坩埚形状相符,耐火粘土坩埚,避免局部受力过大而缩短粘土坩埚使用寿命。
三:粘土坩埚使用寿命与用法有关,应避免强氧化火焰直接喷射到粘土坩埚上,粘土坩埚定制,而使粘土坩埚原料氧化短命。
坩埚用原料要求纯度高、一致性好,粒度分布均匀。由害成分高时会影响坩埚的熔制,影响其耐温性,还会出现气泡、、脱皮等现象,严重影响石英坩埚质量。有害元素含量高还会产生一些气泡、白斑等缺陷,造成石英坩埚透明度下降,严重时还影响坩埚成形。坩埚尺寸大小(或容积大小)的确定取决于晶体生长的直径和长度,同时还要考虑拉晶工艺中对埚、晶直径比的要求。
坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路的基础材料。当今,自制粘土坩埚,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。石英质脆,易破,使用时要注意。
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