石英玻璃坩埚
普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸22英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产大厂家生产的坩埚技术都比较成熟。其生产使用原料石英砂由美国进口和挪威高纯石英砂两种。也有小厂使用国产料其原料生产的石英坩埚对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。
目前坩埚生产涂层技术已被大多数厂家使用就是在普通石英砂溶制的坩埚表面涂上一层二氧化钡溶液使其形成致密层,坩埚哪里好,其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反应提高成晶率。
坩埚的存放
1.坩埚必须储存在干燥的环境中,放在木托盘上,坩埚,并保持通风;2.坩埚倒过来放的时候可以重叠放置;
3.切忌坩埚不能暴露在潮湿的环境中,否则吸潮后的坩埚,釉层很容易在坩埚预热环节中剥落,致使石墨被氧化,坩埚直销,坩埚导热性能逐渐降低,导致整只坩埚使用寿命降低。
坩埚的搬运
为了更好的保护坩埚的釉层,搬运坩埚时必须非常小心,要避免发生敲打、碰撞或跌落的现象,更不能把坩埚横放在地面上滚动运输。坩埚的釉层一旦受损,会导致坩埚在使用过程中容易发生氧化和老化现象。应该用垫了软垫的手推车(或者其他合适的搬运工具)小心的搬运坩埚。
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