石墨坩埚的养护方法:
对于寿命已经到了期限的,需要进行更换,对于没有到寿命期限的且暂时不用的,坩埚批发,需要进行密封在塑料袋中,放入纸箱打包,并注明炉号、更换原因、日期等,坩埚求购,妥善保管。对于那些部分发生损坏但是没有到更换期限的石墨坩埚可以更换也可以凑合用,进行密封保存的石墨坩埚再次使用时,建议大家使用在提纯的炉子上。在每次拆炉时,要清理氧化物,信阳坩埚,并把石墨件上的渗硅清理干净,一些保温盖等部件要擦拭干净,避免一些杂物污染原料,除了在使用中注意人身安全外,坩埚经销商,还需要注意这种物品要轻拿轻放,确保石墨坩埚的安全。
石英玻璃坩埚
普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸22英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产大厂家生产的坩埚技术都比较成熟。其生产使用原料石英砂由美国进口和挪威高纯石英砂两种。也有小厂使用国产料其原料生产的石英坩埚对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。
目前坩埚生产涂层技术已被大多数厂家使用就是在普通石英砂溶制的坩埚表面涂上一层二氧化钡溶液使其形成致密层,其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反应提高成晶率。
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