坩埚是用极耐火的材料,如粘土、石墨、瓷土或较难熔化的金属所制的器皿或熔化罐,主要用于溶液的蒸发、浓缩或结晶,灼烧固体物质。而粘土坩埚主要的成分是粘土,横口坩埚零售,它和传统的材质的坩埚一样,横口坩埚供应商,在使用时如果使用不当就很容易损坏破裂,所以在实验时,要注意正确的操作使用。
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现代拉单晶的坩埚一般是采用电弧法生产,半透明状,是拉制大直径单晶硅,横口坩埚,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。现代的石英坩埚则存在二种结构,外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡复合层,内侧则是一层3~5mm的透明层,称之为气泡空乏层。气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。气泡空乏层的目的在于降低与溶液接触区域的气泡密度,而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。
石墨坩埚问题体现在:
新的石墨坩埚煅烧不够彻底即投入使用会造成石英坩埚外层严重析晶。
石墨坩埚因使用时间过长,其原有的厚度氧化降解而大为减薄。
石英坩埚问题体现在:
石英坩埚在放入时用力过量,底部受到损伤而产生隐裂。
在装底部料时大块的硅料撞击到石英坩埚底部产生隐裂。
坩埚上部装入太多的大料,熔料过程中发生塌料时易将坩埚底部撞破导致漏硅。
石英坩埚因受到外力损伤已产生隐裂,熔料过程中发生破裂。
在石英坩埚的生产、包装、运输中受到损伤而产生隐裂。
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