瓷坩埚含有硅酸盐,硅酸盐是不与烧1碱反应的。但多数硅酸盐材料(水泥、陶瓷、玻璃)是混合物,含一定量杂质SiO2。因为SiO2会和烧1碱以及其他碱性的物质(如K2CO3,Na2CO3等)反应,生成呈胶状粘稠态的H2SiO3,所以熔融的碱会很快将瓷坩埚腐蚀。因此熔融碱性物质(强碱/过氧化物/碳酸盐)只能使用铁/镍/银坩埚(两者不会发生化学反应)。
坩埚出现问题的处理方法:
1.在稀盐酸或稀硝1酸。
2.内煮沸(用稀盐酸比较方便,子母坩埚,配成(1.5-2)mol/L的盐酸溶液)注意所用的酸盐中不得含有硝1酸,1盐,卤素等到氧化剂.
3.如用稀酸尚不能洗净时,则用焦硫1酸钾,碳酸钠或硼砂熔融清洗
4.如仍有污点,或表面发乌,则用通过100筛目的无尖锐棱角的细砂,用水润湿进行轻轻磨擦,使表面恢复。
现代拉单晶的坩埚一般是采用电弧法生产,子母坩埚经销商,半透明状,子母坩埚哪家好,是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。现代的石英坩埚则存在二种结构,子母坩埚供应商,外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡复合层,内侧则是一层3~5mm的透明层,称之为气泡空乏层。气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。气泡空乏层的目的在于降低与溶液接触区域的气泡密度,而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。
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