现代拉单晶的坩埚一般是采用电弧法生产,半透明状,是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。现代的石英坩埚则存在二种结构,外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡复合层,内侧则是一层3~5mm的透明层,称之为气泡空乏层。气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。气泡空乏层的目的在于降低与溶液接触区域的气泡密度,而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。
坩埚使用注意事项:
1 . 坩埚不使用时与坩埚钳放在保险柜中。
2. 交接班时不论坩埚在使用或存放,交接班者都要当面交接。
3.在岗人员离岗时,必须检查好门窗,把门锁好,回岗位立即检查,石墨坩埚批发,出现问题立即汇报领导。
4. 检查铂金坩埚是否存在的同时,要检查坩埚是否清洗干净。
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对料面及出口温度的测量,石墨坩埚哪家便宜,必须采用非接触式,可采用红外温度传感器。温度测量的方法很多,如热电偶,光纤、半导体温度传感器等。红外测温是比较先进的测量方法,其特点如下:红外测温可远距离和非接触测温,济宁石墨坩埚,它特别适合于高速运动物体,带电体,高压,高温物体的温度测量。红外测温反应速度快,它不需要与物体达到热平衡的过程,只要接收到目标的红外辐射即可测量目标的温度。测量时间一般为毫秒级至微妙级。
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