坩埚的使用注意事项:
1、坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
2、石英质脆,易破,使用时要注意。
3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。
4、不能和HF接触,高温时,商丘坩埚,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。
火焰的控制
1. 火焰的高度1好与底座持平,沿底座的切线方向进入,先绕过底座,然后围绕坩埚盘旋上升。
2. 为保护坩埚釉层,坩埚价格,避免坩埚氧化,火焰应为轻微的氧化性气氛(燃油炉的火焰头部呈现淡绿色)。
3. 为保证坩埚整体的均匀加热,避免某个部位过热,应使用合适的燃烧器和燃烧喷嘴,且火力不能过大。
添加剂的使用
1. 添加剂必须严格按照规定的量添加,过量的添加剂会缩短坩埚的寿命。
2. 添加剂绝1对不能放入空坩埚或固体金属中,应该在金属完全溶解后再加入到金属液中间位置,并缓慢均匀的搅动,坩埚厂家直销,避免添加剂直接接触坩埚体。
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坩埚可以分为石墨坩埚,粘土坩埚,和金属坩埚三大类。由于性能,用途和使用条件不同,所用的原料,生产方法,工艺技术和型号规格也有所不同。坩埚的的生产原料,可以概括为三大类型。一是结晶质的天然石墨,二是可塑性的耐火粘土,三是经过煅烧的硬质高岭土类骨架熟料。
石墨坩埚的主要原料是结晶形天然石墨。石墨坩埚分为普通石墨坩埚,坩埚批发,异性石墨坩埚和高纯石墨坩埚三类。具有良好的热导性和耐高温性热膨胀系数小,防腐蚀性较强,具有优良的化学稳定性。石墨坩埚的优良性能是其是、成为坩埚的更佳选择。
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