坩埚的使用注意事项:
1、坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
2、石英质脆,易破,使用时要注意。
3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。
4、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。
坩埚在使用过程中是有讲究的,尤其是新电炉坩埚在使用中更是的注意了 为什么要这样肯定的说呢?下面可以通过以下要点了解下。
新电炉坩埚前5炉不宜安排冶炼高碳,高锰,青岛横口坩埚,高硅以及高合金钢种。防止因钢液渗入裂纹而发生漏钢事故。初期可安排冶炼低碳含铬钢。
新电炉坩埚材料,装料应比较讲究,杜绝熔化期出现“架桥”。要细心操作防止对坩埚壁产生大的冲击。装料量达到zui大值,延长冶炼时间。
新电炉坩埚除细心操作外,还必须细心观察漏钢前兆。经常观察坩埚壁是否有异色;供电电压是否向下波动,电流是否向上波动等。出现异常情况应立即停电检查,以免发生漏钢事故。同时,还应观察感应器匝间的绝缘情况是否良好。 出钢后应检查坩埚内表面是否有亮点区或裂纹,特别是环状横向裂纹,纵裂纹通常危害性小。及时清理修补缺陷和渣线。
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